空氣循環(huán)系統(tǒng)采用雙電機水平循環(huán)送風(fēng)方式，風(fēng)循環(huán)均勻。風(fēng)源由循環(huán)送風(fēng)電機（采用無觸點開關(guān)）帶動風(fēng)輪（Φ230）經(jīng)由電熱器，而將熱風(fēng)送出，再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室，再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)，加熱使用。確保室內(nèi)溫度均勻性。當(dāng)因開關(guān)門動作引起溫度值發(fā)生擺動，可介此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。

　　

　　單晶硅烘箱的概念

　　

　　主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。特點

　　

　　1，本系列主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。

　　

　　2，本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠，數(shù)字直接顯示出工作溫度，直觀易讀。

　　

　　3，工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫；能自動切斷電源，保護設(shè)備和產(chǎn)品。

　　

　　4，單晶硅烘箱具有超溫報警，恒溫計時功能。

　　

　　箱體結(jié)構(gòu):設(shè)計，箱體采用數(shù)控機床加工成型，箱門采用雙開式，操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板，外殼為A3板噴塑處理，更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟，方便維護和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保烘箱的密閉性。